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配置在第一底盘与第二底盘之间的现有防振机构，不能调节第一底盘与第二底盘之间的尺寸，不能确保高精度的尺寸。本发明提供的装置备有第一底盘１、与该第一底盘相向配置的第二底盘２、安装在第二底盘上的防振部件４、贯通防振部件中心孔４ａ并将防振部件安装在...
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