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本发明涉及一种太阳能电池用氢化纳米晶硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1：快速热退火；把非晶硅薄膜放入有气氛保护下的退火炉里进行退火处理，使其由非晶态薄膜转变为纳米晶态薄膜；S2：区域熔化再结晶；将一束高能量源照射硅基薄膜的表面，使薄膜材料...
该专利属于中建材浚鑫科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中建材浚鑫科技有限公司授权不得商用。

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