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本发明涉及一种晶元篮清洗装置，一侧设有喷淋循环单元的机体，还包括毛刷驱动机构，所述喷淋循环单元包括设在机体外侧的喷淋循环槽，还包括设在所述机体内腔上方的喷淋组，所述喷淋循环槽出水口通过管道与喷淋组进水口连通连接，所述喷淋组内侧设有两端活动穿...
该专利属于江苏中科晶元信息材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中科晶元信息材料有限公司授权不得商用。

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