下载一种超低浓度流动配气系统及配气方法的技术资料

文档序号:30680747

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本发明公开了一种超低浓度流动配气系统及配气方法,特点是:包括气体质量流量控制模块,用于控制背景气和测试气以一定的质量流量进入系统;可挥发性有机物(VOCs)注入控制模块,用于实现液态VOCs以一定的流速注入管路;配气控制模块,包括对液态VO...
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