下载一种单晶炉用外置式吸杂加料方法的技术资料

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一种单晶炉用外置式吸杂加料方法,使用安全壳、吸杂罐和加料器;吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作,加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作;安全壳固定于支架上,其一端通过隔离阀与单晶炉主炉室的炉筒或炉盖连接,安全壳的另一端设置有密封盖,...
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