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一种双面型三维HEMT器件及其制备方法技术
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文档序号:30645537
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本发明公开了一种基于化合物半导体的双面型三维HEMT器件设计和制备方法,采用上下面设计和制造方法,有别于传统的HEMT芯片单面单向设计制造,本发明为双面双向设计构造,将芯片由单面平面型,升级为三维立体垂直型,增大了芯片的集成度,增强了芯片的...
该专利属于王晓波所有,仅供学习研究参考,未经过王晓波授权不得商用。
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