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金属互联结构及金属互联结构的键合方法技术
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文档序号:30643267
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本发明提供了一种金属互联结构及金属互联结构的键合方法,包括:金属柱,所述金属柱包括一键合界面;第一键合层,所述第一键合层包覆所述金属柱,所述第一键合层采用二氧化硅材料;第二键合层,所述第二键合层环绕所述金属柱的键合界面设置,形成孤立的环形结...
该专利属于芯盟科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯盟科技有限公司授权不得商用。
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