下载隔离结构的制备方法、高压发光器件及其制造方法的技术资料

文档序号:30640522

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及半导体技术领域,特别是涉及一种用于高压发光器件的隔离结构的制备方法、高压发光器件及其制造方法,该用于高压发光器件的隔离结构的制备方法,包括:在衬底上形成线条型绝缘层;以线条型绝缘层为掩膜,对衬底进行蚀刻,以形成n个线条型隔离墙以及...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。