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隔离结构的制备方法、高压发光器件及其制造方法技术
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文档序号:30640522
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本申请涉及半导体技术领域,特别是涉及一种用于高压发光器件的隔离结构的制备方法、高压发光器件及其制造方法,该用于高压发光器件的隔离结构的制备方法,包括:在衬底上形成线条型绝缘层;以线条型绝缘层为掩膜,对衬底进行蚀刻,以形成n个线条型隔离墙以及...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。
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