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一种延伸波长响应截止探测器及其制作方法技术
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文档序号:30632135
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本申请提供一种延伸波长响应截止探测器及其制作方法,采用背入式p-i-i-n或n-i-i-p的延伸波长探测器结构,也即,所述探测器结构包括双本征吸收层结构,所述双本征吸收层结构包括晶格匹配本征吸收层和晶格微失配本征吸收层,将两种本征吸收层相结...
该专利属于成都英飞睿技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都英飞睿技术有限公司授权不得商用。
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