下载超分辨反射膜结构的技术资料

文档序号:3062898

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一种用于只读式光盘的超分辨反射膜结构,其特征在于它由保护层(1)、超分辨反射膜(2)和保护层(3)构成,所述的保护层(1)和保护层(3)的成分为氮化硅层;所述的超分辨反射膜(2)由锑或硅或钛构成。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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