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文档序号:3062621

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本发明能够提高缺陷管理的可靠性。在盘片内圆周预定径向部分的区如导入区(zone)中,提供包括缺陷管理区的多个管理数据区以便得到可靠的缺陷管理。进一步,包括缺陷管理区(信息区(Info1,Info2)的多个管理数据区是在盘片径向彼此分开的位置...
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