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本实用新型公开了一种清洗装置，包括工艺槽、液体加热储槽、蒸汽液化装置和回流储存装置；工艺槽与液体加热储槽通过管路连接，液体加热储槽顶盖通过管路、抽气泵与蒸汽液化装置连接，蒸汽液化装置与回流储存装置连接，回流储存装置与液体加热储槽连接；液体加...
该专利属于江苏爱矽半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏爱矽半导体科技有限公司授权不得商用。

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