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本公开涉及一种具有冷却液供给结构的抛光工具。在一个实施例中，一种抛光工具，包括：抛光头，以及形成在所述抛光头上的抛光表面；其中，所述抛光头内部设有冷却液腔室，并且所述抛光头设置有从所述冷却液腔室贯穿至所述抛光表面的冷却液出口，以使得冷却液从...
该专利属于3M中国有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过3M中国有限公司授权不得商用。

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