下载用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构及阀体组件的技术资料

文档序号:30596708

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本实用新型公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体连接结构,包括阀体歧块和气路通道,所述气路通道包括腔室连接通道、进气阀连接通道和预抽阀连接通道。本实用新型还公开了一种用于质谱仪抽真空系统的阀体组件,包括集成在阀体连接结构上的进气阀和预抽阀。本...
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