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本实用新型公开了一种基于井式燃气炉的多管式均布式气相沉积炉,涉及燃气气相沉积炉技术领域。该基于井式燃气炉的多管式均布式气相沉积炉,包括炉体、炉管、烧嘴和燃烧系统,所述炉管固定安装于炉体内,所述烧嘴固定安装于炉体内。该基于井式燃气炉的多管式均...该专利属于山东京能新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东京能新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种基于井式燃气炉的多管式均布式气相沉积炉,涉及燃气气相沉积炉技术领域。该基于井式燃气炉的多管式均布式气相沉积炉,包括炉体、炉管、烧嘴和燃烧系统,所述炉管固定安装于炉体内,所述烧嘴固定安装于炉体内。该基于井式燃气炉的多管式均...