下载千级无尘室的技术资料

文档序号:30565596

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本申请涉及一种千级无尘室,涉及无尘室的领域,其包括无尘室本体,所述无尘室本体内设置有回风夹道,无尘室内铺设有防静电地板,无尘室本体外层连接有防护室,防护室与无尘室本体之间设置有连通无尘室本体与防护室的连通室。本申请具有工作人员进出无尘室时,...
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