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近场光发生器件的制造方法技术
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文档序号:3055921
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提供一种通过较低水平的光刻制造蝶形领结天线的方法,通过在基体上形成蚀刻掩模,形成截头四方形棱锥,掩模的形状类似截头四方形棱锥的顶表面,通过掩模材料制造的蚀刻掩模对基体进行各向同性的蚀刻。其后,通过从各表面的前方沿平行基体的方向注射真空沉积物...
该专利属于精工电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精工电子有限公司授权不得商用。
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