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一种硅基铒镱共掺聚合物绿光光波导放大器及其制备方法，属于聚合物光波导放大器制备技术领域。依次由硅衬底、下包层、芯层和上包层组成，下包层为二氧化硅，在下包层上通过刻蚀工艺刻蚀得到多个条形波导凹槽，在条形波导凹槽内及下包层上通过旋涂方式填充芯层...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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