下载N型TOPCon太阳能电池的制作方法的技术资料

文档序号:30539247

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本发明涉及一种N型TOPCon太阳能电池的制作方法,其采用了新的硼扩思路及方法,通过采用降低沉积反应源量降低硼扩后的表面富硼层、采用薄BSG工艺提高表面浓度,进而提升FF,大幅度降低成本和缩短了整个工艺时间。度降低成本和缩短了整个工艺时间。...
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