下载微镜器件及微镜器件的驱动方法的技术资料

文档序号:30533512

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微镜器件具备第1及第2致动器,该第1及第2致动器为具备在振动板上层叠有下部电极、压电膜及上部电极的压电元件的压电致动器。各压电元件的各上部电极由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部构成,并且该各压电元件包括由多个个别电极...
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