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一种用于在表面(110)上产生多个沟槽的激光加工设备(100)，具有光学衍射装置(102)，其被设置为接收激光辐射(104)以及由此产生输出辐射(106)，其中输出辐射具有多个强度最大值。提供致动装置(108)用于在所述输出辐射(106)和...该专利属于4JET微科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过4JET微科技股份有限公司授权不得商用。
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一种用于在表面(110)上产生多个沟槽的激光加工设备(100)，具有光学衍射装置(102)，其被设置为接收激光辐射(104)以及由此产生输出辐射(106)，其中输出辐射具有多个强度最大值。提供致动装置(108)用于在所述输出辐射(106)和...