温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在脉冲气体输送系统中，通过上游阀门将腔室预填充至规定压力。此后，打开下游控制阀门以在气体脉冲期间控制气体的流。专用控制器可以基于在脉冲期间检测到的压力和温度在脉冲期间在反馈回路中控制下游控制阀门。期间在反馈回路中控制下游控制阀门。期间在反馈...
该专利属于万机仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过万机仪器公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。