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将有用层转移到载体衬底的方法技术
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下载将有用层转移到载体衬底的方法的技术资料
文档序号:30531448
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本发明涉及一种将有用层转移到载体衬底上的方法,包括以下步骤:a)提供包括埋置弱化面的施主衬底,有用层由施主衬底的正面和埋置弱化面来界定;b)提供载体衬底;c)由施主衬底的正面将施主衬底沿接合界面结合到载体衬底以形成接合结构;d)对接合结构进...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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