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工艺参数根因定位方法和相关装置制造方法及图纸
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下载工艺参数根因定位方法和相关装置的技术资料
文档序号:30529513
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本发明的实施例提供了一种工艺参数根因定位方法和相关装置,方法包括:分别将制程参数和样本产出时间划分为多个子区间,得到多个第一子区间和多个第二子区间;分别针对每个第一子区间和每个第二子区间,确定各第一子区间的中位数,生成第一参数数据,确定各第...
该专利属于成都数之联科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都数之联科技有限公司授权不得商用。
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