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本发明公开了一种吸附装置,包括:机架;第一吸附组件,第一吸附组件包括:多个第一吸附件;驱动组件,驱动组件与第一吸附组件在机架上间隔设置,驱动组件为电控驱动组件或液控驱动组件;第二吸附组件,第二吸附组件与驱动组件传动连接,以在驱动组件的驱动作...该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。
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