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本发明公开一种平面化圆片级熔融石英MEMS陀螺仪的制作方法，目的是提高MEMS陀螺仪的精度。技术方案是确定加工环境；搭建飞秒激光改性的装置；制作甲片和乙片石英片，对乙片采用飞秒激光改性的装置进行飞秒激光改性、清洗、退火；将乙片和甲片清洗后进...
该专利属于中国人民解放军国防科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科技大学授权不得商用。

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