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提供了用于紫外线和／或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统（１”）。物镜系统（１”）包含至少一个具有非球面的玻璃部件（３”）。该至少一个玻璃部件（３”）由具有低软化温度并对紫外线和／或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。

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