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本发明公开了一种钨灯丝扫描电子显微镜的检测方法及装置，包括箱体、气密性检测机构、强度检测机构、夹持机构和旋转机构，所述气密性检测机构设置于箱体的顶部，所述强度检测机构设置于箱体内腔的下端，旋转机构设置于箱体的底部。本发明通过气泵和输气管构成...
该专利属于安徽工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过安徽工业大学授权不得商用。

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