下载一种具有离子液体栅极的器件及其制备方法和应用的技术资料

文档序号:30495569

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本发明提供了一种具有离子液体栅极的器件及其在沟道区材料的电学性质测试中的应用和制备方法。该器件包括:衬底;第一绝缘层,设置在所述衬底的表面;沟道区,设置在所述第一绝缘层上;漏极,设置在所述第一绝缘层上且与所述沟道区的一端电性接触;源极,设置...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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