下载半导体结构的形成方法的技术资料

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供衬底;在衬底上形成若干鳍部结构,相邻的鳍部结构之间具有隔离沟槽;在隔离沟槽内形成第一隔离层;在第一隔离层表面形成填充满隔离沟槽的第二隔离层;去除第一隔离层。本发明的技术方案中,通过去除第一隔离层,使得第二...
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