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本实用新型涉及一种离子注入机的绝缘组件及离子注入机，其中绝缘组件包括筒形离子源绝缘套管以及绝缘保护套，绝缘保护套为断面呈T型的空心套筒结构，绝缘保护套分为环形外沿和垂直于环形外沿的圆筒型插入部，圆筒型插入部插入离子源绝缘套管的内腔中并对离子...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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