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本发明公开了一种靶材组件及其制作方法，该靶材组件包括：靶材和背板，背板设置于靶材的外围，靶材的溅射面相对于背板的前端表面凸出。本发明中的靶材组件及其制作方法，通过将背板设置于靶材的外围，由于背板没有在靶材的背面进行占位，溅射范围的厚度全部由...
该专利属于浙江最成半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江最成半导体科技有限公司授权不得商用。

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