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本发明提供一种能够减小测量误差的共焦位移计。其中，由光投射部(120)发射具有多个波长的光。透镜单元(220)用于使由光投射部(120)发射的光产生沿着光轴方向的色像差。此外，由透镜单元(220)使具有色像差的光会聚，并利用该光照射测量对象...
该专利属于株式会社基恩士所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社基恩士授权不得商用。

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