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本发明公开了一种皮米量级分辨力的微位移测量系统及测量方法，该系统包括探针模块、光路模块、静态锁相放大处理模块、上位机采集处理模块和微位移驱动模块，其中探针模块包括：测量FBG传感器、匹配FBG传感器、精密不锈钢针管、外部支架；光路模块包括：...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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