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本发明公开了一种测量MOCVD行星式托盘卫星盘转速方法及装置，通过MOCVD设备上的激光测量探头并发出一束激光；该激光照射到MOCVD设备的行星式托盘上，随着行星式托盘旋转，也会照射到卫星盘上以及卫星盘上的晶圆片；反射回的激光经分光后转换成...
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