下载薄膜涂层结构的层间应力检测方法、计算机装置及计算机可读存储介质的技术资料

文档序号:30433332

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本发明提供一种薄膜涂层结构的层间应力检测方法、计算机装置及计算机可读存储介质,该方法包括获取形成在基材上的薄膜涂层的厚度,确定热源在薄膜涂层表面的位置,以热源在薄膜涂层与基材所在的界面上的对应点为原点,计算热源以原点镜像对称的第一类对称点中...
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