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矢量传感器、矢量传感装置以及矢量传感器的制备方法制造方法及图纸
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文档序号:30432859
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本发明公开了一种矢量传感器、矢量传感装置以及矢量传感器的制备方法,其中,矢量传感器包括底座、类内部毛窝、类感知组织、第一电极、第二电极、第三电极、仿生蛊毛杆和类弹性连接膜,所述类内部毛窝设于所述底座上,所述类内部毛窝的中间位置形成容纳腔;所...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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