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本发明提供一种导光束端面的缺陷检测装置及其检测方法,所述装置包括:设置光学平台上的短相干光源模块、显微干涉模块和光纤端口,其中,短相干光源模块用于产生一对正交、线偏振并具有相位延迟的短相干光源,短相干光源从光纤端口出射进入显微干涉模块,显微...该专利属于常州联影智融医疗科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州联影智融医疗科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种导光束端面的缺陷检测装置及其检测方法,所述装置包括:设置光学平台上的短相干光源模块、显微干涉模块和光纤端口,其中,短相干光源模块用于产生一对正交、线偏振并具有相位延迟的短相干光源,短相干光源从光纤端口出射进入显微干涉模块,显微...