下载测试晶圆上一开关元器件的电气特性的方法的技术资料

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本发明涉及测试晶圆上一开关元器件的电气特性的方法,涉及晶圆级测试技术,通过控制使得与待测开关元器件并联的一开关元器件导通,则该导通的开关元器件的第一电极与第二电极电连通,则待测开关元器件的第一电极与该导通的开关元器件的第二电极电连通,第二探...
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