下载用于激光装置的光束偏转装置、激光装置以及产生激光图案的方法的技术资料

文档序号:30427258

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本发明涉及用于激光装置(10)的光束偏转装置(14),用于借助于激光装置(10)的激光束(20)在材料(38)上或材料中产生激光图案(22)。具有至少一个反射或分射光束偏移元件(24),其形成为相对于激光装置(10)的激光产生装置(12)的...
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