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本申请提出了一种微气动控制单元，包括大量控制通道，控制通道用于在气动致动的多通道涂覆头中产生控制压力(pc)，从而用涂覆剂涂覆组件，控制通道的特征在于：a)阀芯，阀芯包括在阀板中的阀孔和在阀板下方并且在阀孔的区域中被设计为隔膜关闭元件的隔膜...
该专利属于埃克塞尔工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃克塞尔工业公司授权不得商用。

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