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公开了用于进行激光烧蚀的方法和装置。在一种布置中，紫外线激光束被引导通过掩模以将由掩模限定的一部分烧蚀图案成像到材料层上。在掩模上扫描激光束，以将烧蚀图案的不同部分依次成像到该层的不同相应区域上。从而将与烧蚀图案相对应的结构烧蚀到该层中。激...
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