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本发明公开了一种基于飞秒激光直写的可调谐波导光栅滤波器及其制造方法，包括晶圆基底，所述晶圆基底的上部设有上包层，上包层的上部依次设有电极层和引线层，且电极层和引线层的宽度均小于上包层的宽度；所述上包层内设有波导芯层，且波导芯层上设有采用飞秒...
该专利属于河南仕佳光子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南仕佳光子科技股份有限公司授权不得商用。

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