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一种半导体结构及半导体结构的形成方法,结构包括:衬底;位于衬底上的栅极结构;位于衬底上的介质结构,所述介质结构覆盖所述栅极结构;位于介质结构内的第一导电插塞,所述第一导电插塞位于所述栅极结构一侧或两侧;位于介质结构内的开口,所述开口暴露出所...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及半导体结构的形成方法,结构包括:衬底;位于衬底上的栅极结构;位于衬底上的介质结构,所述介质结构覆盖所述栅极结构;位于介质结构内的第一导电插塞,所述第一导电插塞位于所述栅极结构一侧或两侧;位于介质结构内的开口,所述开口暴露出所...