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本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材,包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片,两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边;两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置,另一陶瓷靶材片的拼接边向...该专利属于南京欧美达应用材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京欧美达应用材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材,包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片,两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边;两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置,另一陶瓷靶材片的拼接边向...