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一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组制造技术
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文档序号:30415423
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本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组,包括箱体、储纳箱、进风扇、毛刷、第二滑块和第一门板,所述箱体一端侧壁的底端安装有储纳箱,且储纳箱内部的底端皆安装有第一滑轨,所述第一滑轨的内部设置有第一滑块,且第一滑块的顶端安装有收...
该专利属于浙江中电环境科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江中电环境科技有限公司授权不得商用。
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