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辐射检测装置及其制备方法制造方法及图纸
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文档序号:30415166
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本文公开了一种用于检测辐射的装置及其制备方法。该方法包括在半导体衬底(102)中形成凹部(104),其中所述半导体衬底(102)的一部分(107)延伸到所述凹部(104)中并且被所述凹部(104)包围;将半导体纳米晶体(106)沉积到所述凹...
该专利属于深圳帧观德芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳帧观德芯科技有限公司授权不得商用。
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