下载辐射检测装置及其制备方法的技术资料

文档序号:30415166

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本文公开了一种用于检测辐射的装置及其制备方法。该方法包括在半导体衬底(102)中形成凹部(104),其中所述半导体衬底(102)的一部分(107)延伸到所述凹部(104)中并且被所述凹部(104)包围;将半导体纳米晶体(106)沉积到所述凹...
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