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本发明的真空泵(100)的旋转机构(20)包含：磁轴承单元(21)，具有第一外径(91)，能够作为第一径向磁轴承(40)而运行；以及马达单元(22)，设于较磁轴承单元更靠旋转轴(11)的第二端(11b)侧的位置，具有大于第一外径的第二外径(...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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