下载晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器的技术资料

文档序号:30405979

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器。所述方法包括如下步骤:形成贴附于绝缘侧墙的柱状导电沟道;在所述柱状导电沟道侧面形成半包围所述柱状导电沟道的栅绝缘层,并暴露所述柱状导电沟道两端;在所述柱状导电沟道...
该专利属于芯盟科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯盟科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。