下载晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器的技术资料

文档序号:30405978

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本发明提供一种晶体管的制造方法、晶体管、基本存储单元、以及动态随机存取存储器。所述方法包括如下步骤:形成贴附于绝缘侧墙的导电沟道,所述导电沟道包括柱状本体以及两侧的端部,所述端部至少有一为突出设置;在所述柱状本体侧面形成半包围所述柱状本体的...
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